EN ISO 14644: 클린룸 분류를 결정하는 표준
EN ISO 14644(독일의 경우 DIN EN ISO 14644)는 클린룸 및 클린룸 분야에서 국제적으로 인정받는 표준입니다. 표준의 도움을 받으면 룸을 클린룸 등급(ISO 1-9)으로 분류할 수 있습니다. 표준은 또한 클린룸 시설의 계획, 작동 및 제어와 관련된 측면을 고려합니다.
원래 반도체 산업에서 개발된 EN ISO 14644가 2001년에 이전 US FED STD 209E 표준을 대체했습니다. 그리고 그 사이에 항공 우주, 광학, 제약, 식품, 의료 기술 및 보건을 포함한 많은 산업에서 표준이 수립되었습니다.
클린룸의 등급을 구분하기 위해 EN ISO 14644는 공기 중의 입자 농도에 초점을 맞춥니다. 표준은 세제곱미터의 공기당 최대 허용 입자 농도에 대한 한도를 설정합니다. 그리고 클린룸 등급 ISO 1-9에 정화도 등급을 할당합니다. 이렇게 해서 ISO class 1 클린룸이 가장 높은 수준의 정화도에 도달합니다. 이 목적을 위해 최대 크기가 0.1마이크로미터인 최대 10개의 입자가 공기 1세제곱미터에 존재할 수 있습니다.
농도를 균일하게 결정하기 위해 표준은 입자 한계치뿐만 아니라 공인된 테스트 방법도 지정합니다. 가장 정확한 측정을 위해 최신 입자 측정 기구에 종종 레이저 다이오드가 장착됩니다. 다음 표는 면적당 최소 수의 측정 지점을 보여줍니다. 각 측정 지점의 평균 값이 한계치를 초과하지 않는 경우 룸은 요건을 충족합니다.