Brooks의 클린룸에 사용되는 igus® 에너지 공급 시스템
Brooks 사는 Fixload 생산에 특히 깨끗한 공기를 필요로 합니다. 이것은 반도체 공정에서 300mm 웨이퍼 공정 장비를 위한 부하 인터페이스의 매우 민감한 처리 부위 때문입니다. 처리되는 웨이퍼는 적재 중에 환경에 노출되므로 여기서는 무엇보다 사용되는 에너지 공급 장치의 클린룸 성능이 중요합니다.
Brooks의 시험은 장기 시험에서도 igus® 에너지 공급 장치의 마모를 계산할 수 없음을 보여줍니다. 지퍼 e-chain® 은 수직 설치 위치에 사용됩니다. 290 mm 이동거리에서, 3교대 작업으로 시간당 50-60 사이클을 만들 수 있습니다.
기타 장점:
특허를 받은 지퍼 시스템을 이용하여 신속하게 에너지 케이블을 설치하고 케이블을 보호할 수 있습니다. 이것은 동작 안전과 홀딩 시간을 증가시켜 줍니다.